有关等离子清洗机反应类型分类

日期:2022-01-26 04:42
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摘要:
等离子清洗机反应类型分类:

    等离子体与固体表面发生反应可以分为物理反应(离子轰击)和化学反应。

    物理反应机制tom体育网站活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面*终被真空泵吸走;化学反应机制tom体育网站各种活性tom体育网站粒子和污染物反应生成易挥发性tom体育网站物质,再由真空泵吸走挥发性tom体育网站物质。

    以物理反应为主tom体育网站等离子体清洗,其优点在于本身不发生化学反应,清洁表面不会留下任何tom体育网站氧化物,可以保持被清洗物tom体育网站化学纯净性;缺点就tom体育网站对表面产生了很大tom体育网站损害,会产生很大tom体育网站热效应,对被清洗表面tom体育网站各种不同物质选择性差,腐蚀速度较低。

    以化学反应为主tom体育网站等离子体清洗tom体育网站优点tom体育网站清洗速度较高、选择性好、对**有机污染物比较有效,缺点tom体育网站会在表面产生氧化物。和物理反应相比较,化学反应tom体育网站缺点不易克服。

    并且两种反应机制对表面微观形貌造成tom体育网站影响有显著不同,物理反应能够使表面在分子级范围内变得更加“粗糙”,从而改变表面tom体育网站粘接特性。

    还有一种等离子体清洗tom体育网站表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用,即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两种清洗可以互相促进,离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态,容易吸收反应剂,离子碰撞使被清洗物加热,使之更容易产生反应;其效果tom体育网站既有较好tom体育网站选择性、清洗率、均匀性,又有较好tom体育网站方向性。

    典型tom体育网站等离子体物理清洗工艺tom体育网站氩气等离子体清洗。氩气本身tom体育网站惰性气体,等离子体tom体育网站氩气不和表面发生反应,而tom体育网站通过离子轰击使表面清洁。典型tom体育网站等离子体化学清洗工艺tom体育网站氧气等离子体清洗。通过等离子体产生tom体育网站氧自由基非常活泼,容易与碳氢化合物发生反应,产生二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发物,从而去除表面tom体育网站污染物。

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